The Everhart–Thornley detector (E–T detector or ET detector) is a secondary electron and back-scattered electron detector used in scanning electron microscopes (SEMs). It is named after its designers, Thomas E. Everhart and , who in 1960 published their design to increase the efficiency of existing secondary electron detectors by adding a light pipe to carry the photon signal from the scintillator inside the evacuated specimen chamber of the SEM to the photomultiplier outside the chamber. Prior to this Everhart had improved a design for a secondary electron detection by Vladimir Zworykin and Jan A. Rajchman by changing the electron multiplier to a photomultiplier. The Everhart–Thornley Detector with its lightguide and highly efficient photomultiplier is the most frequently used detector in
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| - Everhart-Thornley-Detektor (de)
- Everhart–Thornley detector (en)
- Détecteur Everhart-Thornley (fr)
- Detector de Everhart–Thornley (pt)
- 埃弗哈特-索恩利探测器 (zh)
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| - Der Everhart-Thornley-Detektor ist ein Teilchendetektor für Sekundärelektronen, welcher besonders rauscharm ist und eine große Bandbreite der auswertbaren Elektronen besitzt. Der 1960 durch und R.F.M. Thornley in einer Publikation vorgestellte Detektor wird hauptsächlich zur Bildgebung im Rasterelektronenmikroskop verwendet, um den sehr kleinen Sekundärelektronenstrom einer Probe zu verstärken. (de)
- Le détecteur Everhart-Thornley est un détecteur d'électrons utilisé principalement dans les microscopes électroniques à balayage (MEB). Il a été développé dans les années 1960 par Thomas Eugene Everhart et à l'université de Cambridge. (fr)
- The Everhart–Thornley detector (E–T detector or ET detector) is a secondary electron and back-scattered electron detector used in scanning electron microscopes (SEMs). It is named after its designers, Thomas E. Everhart and , who in 1960 published their design to increase the efficiency of existing secondary electron detectors by adding a light pipe to carry the photon signal from the scintillator inside the evacuated specimen chamber of the SEM to the photomultiplier outside the chamber. Prior to this Everhart had improved a design for a secondary electron detection by Vladimir Zworykin and Jan A. Rajchman by changing the electron multiplier to a photomultiplier. The Everhart–Thornley Detector with its lightguide and highly efficient photomultiplier is the most frequently used detector in (en)
- O detector Everhart-Thornley (ou detector ET) é um detector de elétrons secundários por retrodifusão usado em microscópios eletrônicos de varredura (ou MEVs). Recebeu o nome de seus designers, e , que, em 1960, publicaram seu projeto para aumentar a eficiência dos detectores de elétrons secundários existentes, adicionando um tubo de luz para transportar o sinal de fóton do cintilador dentro da câmara de amostra evacuada do MEV para o fotomultiplicador fora da câmara. Antes disso, Everhart havia melhorado um projeto de detecção de elétrons secundários de Vladimir Zworykin e , alterando o multiplicador de elétrons para um fotomultiplicador. O Detector Everhart-Thornley, com seu guia de luz e fotomultiplicador altamente eficientes é o detector mais frequentemente utilizado em MEVs. (pt)
- 埃弗哈特-索恩利探测器(Everhart-Thornley Detector)或E-T探测器是一类可以探测二次电子和的传感器,被用于扫描电子显微镜(SEM)中。埃弗哈特-索恩利探测器得名于其设计者托马斯·E·埃弗哈特和理查德·F·M·索恩利。他们在1960年发表的设计中把光管(light pipe)加入到真空腔外的光电倍增管,以处理来自于SEM真空腔中闪烁体探测器的信号,由此提升了二次电子探测器的效率。此前,埃弗哈特已经对弗拉基米尔·佐利金和J·A·拉哈彻曼(J. A. Rajchman)设计的二次电子探测器做出改进,将其中的电子倍增管改为光电倍增管。包含光波导(lightguide)和高探测效率的光电倍增管的E-T探测器已经成为了SEM中最常用的探测器。 E-T探测器位于样品腔中,主要部分是一个包含在法拉第笼之中的闪烁体探测器。对法拉第笼通入较低的正电压可以将能量较低(<50 eV)的电子吸引进入探测器,其中主要是二次电子;其他能量较高的电子则不会被这一电势所吸引。而闪烁体探测器则被设置为极高的正电压以加速这些被吸入的电子,并将其转变为光子。光子进一步被闪烁体探测器中的金属层构成的镜面聚焦到光波导中。这些光子最后通过光管被传输出真空腔,然后进入光电倍增管进行放大。 (zh)
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| - The Everhart–Thornley detector (E–T detector or ET detector) is a secondary electron and back-scattered electron detector used in scanning electron microscopes (SEMs). It is named after its designers, Thomas E. Everhart and , who in 1960 published their design to increase the efficiency of existing secondary electron detectors by adding a light pipe to carry the photon signal from the scintillator inside the evacuated specimen chamber of the SEM to the photomultiplier outside the chamber. Prior to this Everhart had improved a design for a secondary electron detection by Vladimir Zworykin and Jan A. Rajchman by changing the electron multiplier to a photomultiplier. The Everhart–Thornley Detector with its lightguide and highly efficient photomultiplier is the most frequently used detector in SEMs. The detector consists primarily of a scintillator inside a Faraday cage inside the specimen chamber of the microscope. A low positive voltage is applied to the Faraday cage to attract the relatively low energy (less than 50 eV by definition) secondary electrons. Other electrons within the specimen chamber are not attracted by this low voltage and will only reach the detector if their direction of travel takes them to it. The scintillator has a high positive voltage (in the nature of 10,000 V) to accelerate the incoming electrons to it where they can be converted to light photons. The direction of their travel is focused to the lightguide by a metal coating on the scintillator acting as a mirror. In the light pipe the photons travel outside of the microscope's vacuum chamber to a photomultiplier tube for amplification. The E-T secondary electron detector can be used in the SEM's back-scattered electron mode by either turning off the Faraday cage or by applying a negative voltage to the Faraday cage. However, better back-scattered electron images come from dedicated BSE detectors rather than from using the E–T detector as a BSE detector. (en)
- Der Everhart-Thornley-Detektor ist ein Teilchendetektor für Sekundärelektronen, welcher besonders rauscharm ist und eine große Bandbreite der auswertbaren Elektronen besitzt. Der 1960 durch und R.F.M. Thornley in einer Publikation vorgestellte Detektor wird hauptsächlich zur Bildgebung im Rasterelektronenmikroskop verwendet, um den sehr kleinen Sekundärelektronenstrom einer Probe zu verstärken. (de)
- Le détecteur Everhart-Thornley est un détecteur d'électrons utilisé principalement dans les microscopes électroniques à balayage (MEB). Il a été développé dans les années 1960 par Thomas Eugene Everhart et à l'université de Cambridge. (fr)
- O detector Everhart-Thornley (ou detector ET) é um detector de elétrons secundários por retrodifusão usado em microscópios eletrônicos de varredura (ou MEVs). Recebeu o nome de seus designers, e , que, em 1960, publicaram seu projeto para aumentar a eficiência dos detectores de elétrons secundários existentes, adicionando um tubo de luz para transportar o sinal de fóton do cintilador dentro da câmara de amostra evacuada do MEV para o fotomultiplicador fora da câmara. Antes disso, Everhart havia melhorado um projeto de detecção de elétrons secundários de Vladimir Zworykin e , alterando o multiplicador de elétrons para um fotomultiplicador. O Detector Everhart-Thornley, com seu guia de luz e fotomultiplicador altamente eficientes é o detector mais frequentemente utilizado em MEVs. O detector consiste principalmente em um cintilador dentro de uma gaiola de Faraday dentro da câmara de espécime do microscópio. Uma baixa voltagem positiva é aplicada à gaiola de Faraday para atrair os elétrons secundários de energia relativamente baixa (menor que 50 eV, por definição). Outros elétrons dentro da câmara da amostra não são atraídos por essa baixa voltagem e só chegam ao detector se sua direção de deslocamento levá-los a ele. O cintilador tem uma alta voltagem positiva (da ordem de grandeza de 10.000 V) para acelerar os elétrons que chegam a ele, onde podem ser convertidos em fótons de luz. A direção de sua trajetória é focada no guia de luz por um revestimento de metal no cintilador que atua como um espelho. No tubo de luz, os fótons viajam para fora da câmara de vácuo do microscópio para um tubo fotomultiplicador para amplificação. O detector de elétrons secundários ET pode ser usado no modo de elétron retroespalhado do MEV desligando-se a gaiola de Faraday ou aplicando uma voltagem negativa a ela. No entanto, as melhores imagens de elétrons retroespalhados vêm de detectores de BSE dedicados em vez de usar o detector E-T como um detector de BSE. (pt)
- 埃弗哈特-索恩利探测器(Everhart-Thornley Detector)或E-T探测器是一类可以探测二次电子和的传感器,被用于扫描电子显微镜(SEM)中。埃弗哈特-索恩利探测器得名于其设计者托马斯·E·埃弗哈特和理查德·F·M·索恩利。他们在1960年发表的设计中把光管(light pipe)加入到真空腔外的光电倍增管,以处理来自于SEM真空腔中闪烁体探测器的信号,由此提升了二次电子探测器的效率。此前,埃弗哈特已经对弗拉基米尔·佐利金和J·A·拉哈彻曼(J. A. Rajchman)设计的二次电子探测器做出改进,将其中的电子倍增管改为光电倍增管。包含光波导(lightguide)和高探测效率的光电倍增管的E-T探测器已经成为了SEM中最常用的探测器。 E-T探测器位于样品腔中,主要部分是一个包含在法拉第笼之中的闪烁体探测器。对法拉第笼通入较低的正电压可以将能量较低(<50 eV)的电子吸引进入探测器,其中主要是二次电子;其他能量较高的电子则不会被这一电势所吸引。而闪烁体探测器则被设置为极高的正电压以加速这些被吸入的电子,并将其转变为光子。光子进一步被闪烁体探测器中的金属层构成的镜面聚焦到光波导中。这些光子最后通过光管被传输出真空腔,然后进入光电倍增管进行放大。 若去掉法拉第笼上的正电压,或对法拉第笼施加一个负电压,E-T二次电子探测器还可以用于探测背散射电子。但相比于运用E-T探测器获得的背散射电子图像,更高质量的背散射电子图像需要使用专门的背散射电子探测器来进行成像。 (zh)
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