An ion pump (also referred to as a sputter ion pump) is a type of vacuum pump which operates by sputtering a metal getter. Under ideal conditions, ion pumps are capable of reaching pressures as low as 10−11 mbar. An ion pump first ionizes gas within the vessel it is attached to and employs a strong electrical potential, typically 3–7 kV, which accelerates the ions into a solid electrode. Small bits of the electrode are sputtered into the chamber. Gasses are trapped by a combination of chemical reactions with the surface of the highly-reactive sputtered material, and being physically trapped underneath that material.
| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:label
| - Ionengetterpumpe (de)
- Pompa ionica (fisica) (it)
- Ion pump (physics) (en)
- イオンポンプ (ja)
- Ionisatiesputterpomp (nl)
- Bomba de íon (física) (pt)
- Pompa jonowa (pl)
- 离子泵 (zh)
|
| rdfs:comment
| - An ion pump (also referred to as a sputter ion pump) is a type of vacuum pump which operates by sputtering a metal getter. Under ideal conditions, ion pumps are capable of reaching pressures as low as 10−11 mbar. An ion pump first ionizes gas within the vessel it is attached to and employs a strong electrical potential, typically 3–7 kV, which accelerates the ions into a solid electrode. Small bits of the electrode are sputtered into the chamber. Gasses are trapped by a combination of chemical reactions with the surface of the highly-reactive sputtered material, and being physically trapped underneath that material. (en)
- イオンポンプ (ion pump) は、チタンのにより排気する真空ポンプである。スパッタイオンポンプ (sputter ion pump) とも。 (ja)
- Una pompa ionica è un tipo di pompa da vuoto che utilizza lo sputtering di un metallo assorbente.Sotto condizioni ideali, le pompe ioniche sono capaci di raggiungere pressioni fino a 10−11 mbar (10−9 Pa). Una pompa ionica prima ionizza il gas nel contenitore in cui è posizionato e utilizza un forte potenziale elettrico, tipicamente 3-7 kV, che accelera gli ioni su un elettrodo solido. Di conseguenza parti dell'elettrodo sono depositati nella camera da vuoto. I gas sono intrappolati dalle reazioni chimiche, con la superficie dei materiali molto reattivi depositati, ma sono anche sepolti al di sotto di tale materiale per alcuni strati atomici. (it)
- 离子泵是真空泵的一种。离子泵的原理是将气体分子电离后，利用强电场将离子加速至电极板处并捕获，以此移除容器内的气体。理想条件下，离子泵可以产生压强低至10-9帕的真空。 (zh)
- Die Ionengetterpumpe, auch Ionenzerstäuberpumpe oder Getter-Ionenpumpe genannt, ist eine Form der Vakuumpumpe. Bei dieser Sonderform der Sorptionspumpe werden die Restgaspartikel (Atome oder Moleküle) durch Elektronenstoß ionisiert und durch ein elektrisches Feld auf eine Oberfläche beschleunigt. Dort können sie chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Beim Auftreffen der Ionen auf die Oberfläche werden Elektronen freigesetzt, diese können weitere Restgaspartikel ionisieren. Chemisch reaktive Moleküle werden auch ohne vorherige Ionisation beim Auftreffen auf ein Gettermaterial (normalerweise Titan) gebunden. Die Pumpe befördert das Restgas demzufolge nicht aus der Vakuumkammer, sondern hält die gepumpten Atome nur an den Pumpeninnenflächen fest bzw. „v (de)
- Een ionisatiesputterpomp of ionengetterpomp is een type vacuümpomp die gebruik maakt van het sputteren van een metalen gasbinder (Engels: getter). De pomp werkt door een lagere interne druk te hebben dan de omgeving die moet worden afgepompt. Daardoor ontstaat een afvoer van gasdeeltjes naar de pomp door moleculaire stroming. Een ionisatiesputterpomp 'vangt' gasdeeltjes en slaat deze op, in tegenstelling tot gasverplaatsingspompen, die gasdeeltjes elders weer uitscheiden. Omdat de pomp deeltjes opslaat, moet deze eens in de zoveel tijd worden leeggemaakt. (nl)
- Pompa jonowa (pompa jonowo-sorpcyjna) – rodzaj bezwylotowej pompy próżniowej. Istnieje wiele rozwiązań konstrukcyjnych pomp jonowych (np. ). W pompie tego rodzaju zachodzi zjawisko jonizacji pompowanego gazu, co wymaga zasilania pompy wysokim napięciem a często także przyłożenia zewnętrznego pola magnetycznego, celem zwiększenia ilości aktów jonizacji w zakresie mniejszych ciśnień. Jony gazu, padające na katodę z metalu (tytan, tantal) powodują jego rozpylenie. Metal osiada na ścianach pompy, zaś jego powierzchnia silnie sorbuje gazy. Gazy aktywne chemicznie (np. tlen, azot) są wiązane chemicznie (chemisorpcja), zaś gazy szlachetne są okludowane między nowo napylanymi warstwami metalu. Zastosowanie katody tytanowo-tantalowej pozwala zlikwidować szkodliwe zjawisko niestabilności argonowej, (pl)
- Uma bomba de íon (também referido como uma bomba de pulverização catódica de íons) é um tipo de bomba de vácuo capaz de alcançar pressões de 10−11 mbar sob condições ideais. Uma bomba de íon ioniza gases e emprega um forte potencial elétrico, tipicamente 3kV a 7kV, para acelerá-los em um eletrodo sólido. Uma nuvem turbulenta de elétrons produzidos nos vazios das inoniza átomos e moléculas do gás de entrada, enquanto eles estão presos em um forte campo magnético. Os íons da nuvem colidem com o cátodo quimicamente ativo induzindo pulverização e então são bombeados por que efetivamente os remove da câmara de vácuo, resultando em uma ação de bombeamento efetiva. Gases inertes e mais leves, tais como He e H2 não induzem pulverização efetivamente e são absorvidos por . Alguma fração de íons en (pt)
|
| dcterms:subject
| |
| Wikipage page ID
| |
| Wikipage revision ID
| |
| Link from a Wikipage to another Wikipage
| |
| Link from a Wikipage to an external page
| |
| sameAs
| |
| dbp:wikiPageUsesTemplate
| |
| has abstract
| - Die Ionengetterpumpe, auch Ionenzerstäuberpumpe oder Getter-Ionenpumpe genannt, ist eine Form der Vakuumpumpe. Bei dieser Sonderform der Sorptionspumpe werden die Restgaspartikel (Atome oder Moleküle) durch Elektronenstoß ionisiert und durch ein elektrisches Feld auf eine Oberfläche beschleunigt. Dort können sie chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Beim Auftreffen der Ionen auf die Oberfläche werden Elektronen freigesetzt, diese können weitere Restgaspartikel ionisieren. Chemisch reaktive Moleküle werden auch ohne vorherige Ionisation beim Auftreffen auf ein Gettermaterial (normalerweise Titan) gebunden. Die Pumpe befördert das Restgas demzufolge nicht aus der Vakuumkammer, sondern hält die gepumpten Atome nur an den Pumpeninnenflächen fest bzw. „vergräbt“ sie im Metall. Daher hat die Ionengetterpumpe auch keine Gasauslassöffnung. Beim Auftreffen der Ionen auf die Titan-Oberfläche werden Atome aus der Oberfläche herausgeschlagen („Kathodenzerstäubung“, daher der Name „Ionenzerstäuberpumpe“). Dadurch wird immer wieder frisches Titan auf den gegenüberliegenden Elektroden abgelagert, die Getter-Schicht also permanent erneuert. Um eine effektivere Ionisation der Restgasatome oder ‑moleküle zu erreichen, müssen die Elektronen eine möglichst große Strecke zurücklegen. Das wird durch ein Magnetfeld erreicht, in dem die Elektronen durch die Lorentz-Kraft abgelenkt werden und daher einer Bahn ähnlich einer Schraubenlinie folgen. Diese Art von Pumpe funktioniert nur, wenn bereits Hochvakuum erreicht wurde, also wenn die Vakuumkammer bereits vorher durch eine andere Pumpe auf einen Druck unter ca. 10−3 mbar (0,1 Pa) ausgepumpt wurde. Mit Ionengetterpumpen kann dann ein wesentlich niedrigerer Druck erreicht werden, dieser kann unter optimalen Voraussetzungen ca. 10−11 mbar (1 nPa) sein. Ionengetterpumpen sind für Edelgase nicht sehr gut geeignet, weil abgepumptes Edelgas chemisch nicht gebunden werden kann und unter Umständen wieder freigesetzt wird. Ionengetterpumpen haben keine bewegten Teile, sind daher wartungsfrei und benötigen zum Betrieb nur eine Hochspannungsversorgung (Gleichspannung, je nach Pumpentyp 3000–7000 V). (de)
- An ion pump (also referred to as a sputter ion pump) is a type of vacuum pump which operates by sputtering a metal getter. Under ideal conditions, ion pumps are capable of reaching pressures as low as 10−11 mbar. An ion pump first ionizes gas within the vessel it is attached to and employs a strong electrical potential, typically 3–7 kV, which accelerates the ions into a solid electrode. Small bits of the electrode are sputtered into the chamber. Gasses are trapped by a combination of chemical reactions with the surface of the highly-reactive sputtered material, and being physically trapped underneath that material. (en)
- イオンポンプ (ion pump) は、チタンのにより排気する真空ポンプである。スパッタイオンポンプ (sputter ion pump) とも。 (ja)
- Una pompa ionica è un tipo di pompa da vuoto che utilizza lo sputtering di un metallo assorbente.Sotto condizioni ideali, le pompe ioniche sono capaci di raggiungere pressioni fino a 10−11 mbar (10−9 Pa). Una pompa ionica prima ionizza il gas nel contenitore in cui è posizionato e utilizza un forte potenziale elettrico, tipicamente 3-7 kV, che accelera gli ioni su un elettrodo solido. Di conseguenza parti dell'elettrodo sono depositati nella camera da vuoto. I gas sono intrappolati dalle reazioni chimiche, con la superficie dei materiali molto reattivi depositati, ma sono anche sepolti al di sotto di tale materiale per alcuni strati atomici. (it)
- Een ionisatiesputterpomp of ionengetterpomp is een type vacuümpomp die gebruik maakt van het sputteren van een metalen gasbinder (Engels: getter). De pomp werkt door een lagere interne druk te hebben dan de omgeving die moet worden afgepompt. Daardoor ontstaat een afvoer van gasdeeltjes naar de pomp door moleculaire stroming. Een ionisatiesputterpomp 'vangt' gasdeeltjes en slaat deze op, in tegenstelling tot gasverplaatsingspompen, die gasdeeltjes elders weer uitscheiden. Omdat de pomp deeltjes opslaat, moet deze eens in de zoveel tijd worden leeggemaakt. De pomp werkt door middel van een ioniserend en gasbindend proces. Gasmoleculen in de pomp worden gebombardeerd met elektronen met een hoge energie. Daardoor verliezen de gasmoleculen een paar elektronen en worden ze een positief geladen ion. In de pomp bevindt zich een sterk magnetisch veld wat de positief geladen ionen naar een kathode trekt. Deze kathode is meestal gemaakt van titanium. De kracht van de botsing tussen de ionen en het titanium is groot genoeg om atomen te sputteren op de tegenoverliggende wand. Net losgeslagen titanium atomen zijn zeer reactief en binden met gasdeeltjes en vangen zo de gasdeeltjes af uit het vacuüm en slaan ze op in de wanden. Onder ideale omstandigheden kan de pomp een druk bereiken van 10−11 mbar. (nl)
- Uma bomba de íon (também referido como uma bomba de pulverização catódica de íons) é um tipo de bomba de vácuo capaz de alcançar pressões de 10−11 mbar sob condições ideais. Uma bomba de íon ioniza gases e emprega um forte potencial elétrico, tipicamente 3kV a 7kV, para acelerá-los em um eletrodo sólido. Uma nuvem turbulenta de elétrons produzidos nos vazios das inoniza átomos e moléculas do gás de entrada, enquanto eles estão presos em um forte campo magnético. Os íons da nuvem colidem com o cátodo quimicamente ativo induzindo pulverização e então são bombeados por que efetivamente os remove da câmara de vácuo, resultando em uma ação de bombeamento efetiva. Gases inertes e mais leves, tais como He e H2 não induzem pulverização efetivamente e são absorvidos por . Alguma fração de íons energéticos de gás (incluindo gás que não é quimicamente ativo com o material do catodo) que atingem o catodo de metal roubam um elétron da superfície e da retornam como um átomo neutro. Estes energéticos neutros são refletidos de volta a partir do catodo e capturados como neutros nas superfícies expostas da bomba. A taxa de bombeamento e a capacidade de tais métodos de captura, é dependente das espécies de gases específicos a ser recolhido e o material do cátodo absorvendo-o. Algumas espécies, como o monóxido de carbono, se ligarão quimicamente à superfície de um material de cátodo. Outros, como o hidrogênio, irão se difundir na estrutura metálica. No exemplo anterior, a taxa de bombeamento pode cair na medida em que o material do cátodo torna-se revestido. E, neste último, a taxa mantém-se fixa pela taxa na qual o hidrogênio se difunde. (pt)
- Pompa jonowa (pompa jonowo-sorpcyjna) – rodzaj bezwylotowej pompy próżniowej. Istnieje wiele rozwiązań konstrukcyjnych pomp jonowych (np. ). W pompie tego rodzaju zachodzi zjawisko jonizacji pompowanego gazu, co wymaga zasilania pompy wysokim napięciem a często także przyłożenia zewnętrznego pola magnetycznego, celem zwiększenia ilości aktów jonizacji w zakresie mniejszych ciśnień. Jony gazu, padające na katodę z metalu (tytan, tantal) powodują jego rozpylenie. Metal osiada na ścianach pompy, zaś jego powierzchnia silnie sorbuje gazy. Gazy aktywne chemicznie (np. tlen, azot) są wiązane chemicznie (chemisorpcja), zaś gazy szlachetne są okludowane między nowo napylanymi warstwami metalu. Zastosowanie katody tytanowo-tantalowej pozwala zlikwidować szkodliwe zjawisko niestabilności argonowej, polegające na pompowaniu argonu przez samą katodę tytanową. Pompy jonowo-sorpcyjne wymagają próżni wstępnej rzędu 10-3 Tr. Uzyskiwane za pomocą tych pomp próżnie dochodzą do 10-11 Tr. Ich zaletą w porównaniu do pomp dyfuzyjnych jest to, że dają "czystą" próżnię, tzn. nie zanieczyszczoną śladami oleju lub rtęci. Drugą zaletą jest to, że pompa jonowa reguluje się sama - im gorsza próżnia, tym większy prąd czerpany ze źródła zasilania, tym więcej aktów jonizacji i silniejsze rozpylanie metalu. Zwykle pompy jonowo-sorpcyjne mają szybkość pompowania zawartą między ok. 2 l/s do kilkuset l/s. Są stosowane gdy potrzebna jest wysoka lub ultrawysoka czysta próżnia, np. w niektórych lampach nadawczych rozbieralnych i układach laboratoryjnych. Pozycja montażu i pracy pompy jonowej względem poziomu jest zwykle dowolna, jednakże może być ograniczona przez ciężar samej pompy, wpływ pola magnetycznego na pozostałe elementy układu, wykorzystane techniki pompowania oraz przeprowadzane w komorze procesy. W Polsce pompy jonowo-sorpcyjne wytwarza Instytut Tele- i Radiotechniczny. (pl)
- 离子泵是真空泵的一种。离子泵的原理是将气体分子电离后，利用强电场将离子加速至电极板处并捕获，以此移除容器内的气体。理想条件下，离子泵可以产生压强低至10-9帕的真空。 (zh)
|
| skos:closeMatch
| |
| prov:wasDerivedFrom
| |
| page length (characters) of wiki page
| |
| foaf:isPrimaryTopicOf
| |
| is Link from a Wikipage to another Wikipage
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)