| rdfs:comment
| - فلوريد التنغستن السداسي (أو سداسي فلوريد التنغستن) هو مركب كيميائي من التنغستن والفلور، له الصيغة الكيميائية WF6، ويكون على شكل غاز عديم اللون عند درجة حرارة الغرفة. (ar)
- Wolfram(VI)-fluorid (WF6), häufig auch Wolframhexafluorid, ist eine farblose, gasförmige Verbindung der Elemente Wolfram und Fluor und gehört zur Stoffgruppe der Hexafluoride. Es ist das dichteste bekannte Gas unter Standardbedingungen. An feuchter Luft raucht es aufgrund von Hydrolyse und besitzt einen stechenden Geruch. Es wird am häufigsten bei der Herstellung von Halbleiterschaltungen und Leiterplatten im Prozess der chemischen Gasphasenabscheidung verwendet; bei seiner Zersetzung verbleibt ein Rückstand von metallischem Wolfram. (de)
- Το εξαφθοριούχο βολφράμιο είναι ανόργανη δυαδική ένωση, που περιέχει βολφράμιο και φθόριο, με μοριακό τύπο WF6. Στις κανονικές συνθήκες περιβάλλοντος, δηλαδή υπό πίεση 1 atm και σε θερμοκρασία 25°C, είναι άχρωμο διαβρωτικό αέριο, με πυκνότητα περίπου 12,4 kg/m³, δηλαδή περί τις 11 φορές βαρύτερο από τον αέρα. Το εξαφθοριούχο βολφράμιο είναι από τα βαρύτερα γνωστά αέρια υπό κανονικές συνθήκες περιβάλλοντος.. Χρησιμοποιήθηκε πολύ στην παραγωγή κυκλωμάτων ημιαγωγών και πλακέτες τυπωμένου κυκλώματος, μέσω της διεργασίας της , δηλαδή μέσω της διάσπασης του WF6 και της απόθεσης μεταλλικού βολφραμίου. Αυτό το στρώμα βολφραμίου εξυπηρετεί ως χαμηλής αντίστασης μεταλλική ενδοσύνδεση. (el)
- El fluoruro de wolframio(VI), también conocido como hexafluoruro de wolframio o hexafluoruro de tungsteno, es un compuesto inorgánico de wolframio y flúor de fórmula WF6. Es un compuesto corrosivo, en condiciones estándar es un gas incoloro con una densidad aproximada de 12.6 g/L (unas 11 veces más denso que el aire.), el WF6 es uno de los gases conocidos más pesados bajo condiciones estándar. El WF6 se emplea habitualmante en la producción de circuitos de semiconductores y placas de circuito a través del proceso de deposición química de vapor – después su descomposición, las moléculas de WF6 dejar un residuo de wolframio metálico. Esta capa sirve para disminuir la resistencia metálica de "interconexión". (es)
- Tungsten(VI) fluoride, also known as tungsten hexafluoride, is an inorganic compound with the formula WF6. It is a toxic, corrosive, colorless gas, with a density of about 13 grams per litre (0.00047 lb/cu in) (roughly 11 times heavier than air). It is one of the densest known gases under standard conditions. WF6 ls commonly used by the semiconductor industry to form tungsten films, through the process of chemical vapor deposition. This layer is used in a low-resistivity metallic "interconnect". It is one of seventeen known binary hexafluorides. (en)
- 六フッ化タングステンもしくはフッ化タングステン(VI)はWF6の組成式で表されるフッ素とタングステンからなる無機化合物である。腐食性を有する気体または液体である。25°C100kPaにおいて気体である既知の物質の中で最も重い物質の一つであり、その密度はおよそ13 g/Lと空気の約11倍重い。WF6は集積回路やプリント基板の製造において低抵抗の金属配線層を形成するのに利用される。これは化学気相蒸着法を用いて基板上でWF6を分解させることによって金属タングステンを堆積させるものである。 (ja)
- L'esafluoruro di tungsteno è il composto chimico tra tungsteno e fluoro con formula WF6. In condizioni normali è un gas incolore corrosivo, con una densità di circa 13 g/L (circa 11 volte più pesante dell'aria), ed è quindi uno dei gas più pesanti in condizioni normali. WF6 è disponibile in commercio ed è usato soprattutto nella produzione di semiconduttori, circuiti integrati utilizzando il metodo della deposizione chimica da vapore: le molecole di WF6 si decompongono e lasciano un residuo di tungsteno metallico. Questo strato serve per creare connessioni a bassa resistenza. (it)
- O fluoreto de tungsténio (VI) ou Hexafluoreto de tungsténio, é um composto inorgânico de tungsténio e flúor com a fórmula química WF6. Este composto corrosivo e incolor é um gás nas condições PTN. Com densidade aproximada de 13 g/L (cerca de 11 vezes mais pesado que o ar), WF6 é um dos gases mais pesados nas condições PTN que se conhece. o gás WF6 é usado sobretudo na produção de circuitos e placas de circuitos de semicondutores por meio do processo de deposição química em fase vapor - ao decompor-se, as moléculas de WF6 deixam um resíduo de tungsténio metálico. Esta camada serve como um "ligador" metálico de baixa resistividade. (pt)
- Фторид вольфрама(VI) (гексафторид вольфрама) — неорганическое соединение, соль металла вольфрама и плавиковой кислоты с формулой WF6, бесцветный газ или светло-жёлтая жидкость, реагирует с водой. (ru)
- 六氟化钨为氟与钨形成的无机化合物，化学式WF6。它是无色、有毒、具腐蚀性的气体，密度约13 g/L（约为空气的11倍）。六氟化钨为密度最大的气体之一。半导体器件制造行业通常用WF6的化学气相沉积来形成钨膜。这一层膜用于低电阻率的金属互联。它是十七种已知的二元六氟化物之一。 (zh)
- L'hexafluorure de tungstène, ou fluorure de tungstène(VI), est un composé chimique de formule WF6. Dans les conditions normales de température et de pression, il se présente sous la forme d'un gaz incolore dont la masse volumique de 12,4 g/L, environ 10,3 fois la densité de l'air, est la plus élevée des gaz connus dans ces conditions — la masse volumique du radon n'est alors que de 9,73 g/L. L'hexafluorure de tungstène s'hydrolyse au contact de l'humidité de l'air ce qui provoque l'émission de fumées, et a une odeur piquante. Il est essentiellement utilisé dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur de l'industrie des semiconducteurs pour produire des couches de tungstène métallique ou de disiliciure de tungstène WSi2 réalisant des contacts ohmiques appréciés du fait de la grande s (fr)
- Wolfraam(VI)fluoride of wolfraamhexafluoride is een kleurloos gas met als brutoformule WF6. Het is niet brandbaar, maar het is erg corrosief en zeer giftig. Het is het zwaarste gas, dat wil zeggen het gas met de hoogste dichtheid bij een druk van 1 atmosfeer en kamertemperatuur (25°C). Uranium(VI)fluoride is nog zwaarder, maar die stof is een vluchtige vaste stof bij deze omstandigheden. De verbinding heeft een octaëdrische moleculaire geometrie en behoort tot puntgroep Oh. (nl)
|
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)