A mass flow controller (MFC) is a device used to measure and control the flow of liquids and gases. A mass flow controller is designed and calibrated to control a specific type of liquid or gas at a particular range of flow rates. The MFC can be given a setpoint from 0 to 100% of its full scale range but is typically operated in the 10 to 90% of full scale where the best accuracy is achieved. The device will then control the rate of flow to the given setpoint. MFCs can be either analog or digital. A digital flow controller is usually able to control more than one type of fluid whereas an analog controller is limited to the fluid for which it was calibrated.
| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:label
| - ضابط تدفق الكتلة (ar)
- Massendurchflussregler (de)
- Régulateur de débit massique (fr)
- Mass flow controller (en)
- 질량 흐름 제어기 (ko)
- マスフローコントローラ (ja)
|
| rdfs:comment
| - Ein Massendurchflussregler (Mass flow controller, MFC) ist ein Gerät, mit dem ein Massenstrom auf einen Sollwert geregelt wird. Für jedes Fluid müssen eigene Kalibrierdaten geladen werden, was über eine Programmierschnittstelle geschieht. Neben einem Massendurchflussmesser (MFM) enthält ein MFC einen programmierbaren Regler und ein Proportionalventil. Gängige verwendete Messaufnehmer für diese Regler sind der kalorimetrische Durchflussmesser sowie der Coriolis-Massendurchflussmesser. (de)
- Un régulateur de débit massique (appelé mass flow controller en anglais et abrégé en MFC) est un appareil qui permet de mesurer et de réguler le débit de liquides ou de gaz. (fr)
- マスフローコントローラ（英: mass flow controller, MFC）とは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである。単に流量のセンシングだけを行って、制御を行わない場合は、マスフローメータ（mass flow meter）といい、区別することがある。 体積流量計では、ボイル＝シャルルの法則（気体の場合）や化学変化などのために、温度や気圧によって体積流量が変化してしまうことがあるが、その際でも質量は変化しないことから、質量流量計のほうが好まれることがある。 体積流量計や差圧流量計など質量流量計以外の原理の流量計に、流量調整機能を付けて、体積流量換算などによって質量流量計として用いた場合は、マスフローコントローラとは呼ばないのが一般である。 (ja)
- ضابط تدفق الكتلة هو جهاز يُستخدم لقياس وللتحكم في سريان أو تحكم السوائل والغازات. ويتم تصميم هذا الضابط ومعايرته للتحكم في نوع معين سواء سائل أو غاز خلال مدي معين من السريان، ومن الممكن أن يعمل في مدي من 0 إلي 100% من مقياسه الكامل لكنه عادة ما يعمل بين 10% إلي 90% حيث تكون الدقة عالية والكفاءة مرتفعة. ومن الممكن أن تم تصنيع جهاز الضابط هذا بحيث يكون ذو قراءة تناظرية أو أن يكون بنظام رقمي. وتكون الأجهزة التي تعمل بالنظام الرقمي قادرة علي التعامل مع أكثر من نوع من الموائع بينما يقصر عمل الأجهزة التي تعمل بالإشارات التناظرية علي المائع التي تم معايرتها علي العمل عليه فقط. (ar)
- A mass flow controller (MFC) is a device used to measure and control the flow of liquids and gases. A mass flow controller is designed and calibrated to control a specific type of liquid or gas at a particular range of flow rates. The MFC can be given a setpoint from 0 to 100% of its full scale range but is typically operated in the 10 to 90% of full scale where the best accuracy is achieved. The device will then control the rate of flow to the given setpoint. MFCs can be either analog or digital. A digital flow controller is usually able to control more than one type of fluid whereas an analog controller is limited to the fluid for which it was calibrated. (en)
- 질량 흐름 제어기(mass flow controller, MFC)는 기체의 흐름을 측정하고 제어하는 장치이다. 질량 흐름 제어기는 가스의 종류와 흐름 속도의 범위에 따라서 특별하게 설계되었고 보정되어 있다. 질량 흐름 제어기는 정해진 범위에서 설정값을 0%에서 100%까지 조절할 수 있지만 일반적으로 최고의 정확도에 접근하기 위해서 10%에서 90%범위만 사용한다. 질량 흐름 제어기는 설정값에 따라서 질량 흐름을 제어할 것이다. MFC는 아날로그 방식과 디지털 방식이 있지만, 디지털 흐름 제어기가 아나로그 흐름 제어기보다 일반적으로 정밀한 제어가 가능하다. 반면에, 디지털 제어기는 보정할 수 있는 가스가 제한되어 있다. 모든 질량 흐름 제어기는 흡입구, 배기구, 질량 흐름 센서가 있고 제어값에 비례한다. MFC는 운용자 (혹은 외부회로/컴퓨터)가 입력 신호를 인가할 수 있는 폐루프 제어 시스템이 탑재되어 있다. 이는 질량 흐름 센서값과 비례된 조정값을 비교하여 요구되는 흐름을 얻을 수 있다. 흐름률은 조정할 수 있는 전체 흐름 영역과 MFC에 인가되는 전압신호의 퍼센트로 정해져 있다. (ko)
|
| foaf:depiction
| |
| dct:subject
| |
| Wikipage page ID
| |
| Wikipage revision ID
| |
| Link from a Wikipage to another Wikipage
| |
| Link from a Wikipage to an external page
| |
| sameAs
| |
| dbp:wikiPageUsesTemplate
| |
| thumbnail
| |
| has abstract
| - ضابط تدفق الكتلة هو جهاز يُستخدم لقياس وللتحكم في سريان أو تحكم السوائل والغازات. ويتم تصميم هذا الضابط ومعايرته للتحكم في نوع معين سواء سائل أو غاز خلال مدي معين من السريان، ومن الممكن أن يعمل في مدي من 0 إلي 100% من مقياسه الكامل لكنه عادة ما يعمل بين 10% إلي 90% حيث تكون الدقة عالية والكفاءة مرتفعة. ومن الممكن أن تم تصنيع جهاز الضابط هذا بحيث يكون ذو قراءة تناظرية أو أن يكون بنظام رقمي. وتكون الأجهزة التي تعمل بالنظام الرقمي قادرة علي التعامل مع أكثر من نوع من الموائع بينما يقصر عمل الأجهزة التي تعمل بالإشارات التناظرية علي المائع التي تم معايرتها علي العمل عليه فقط. وكل أجهزة الضبط لتدفق الكتلة تحتوي علي منفذ للدخول وآخر للخروج وحساس لتدفق الكتلة وصمام تحكم نسبي. ويكون استخدام ضوابط تدفق الكتلة مناسبًا في أنظمة التحكم المغلقة التي يدور فيها المائع باستمرار والتي يتم إعطاء إشارة للجهاز الضابط سواء بدائرة خارجية أو بالحاسب الآلي والتي يقوم بمقارنتها دائما بقمية تدفق الكتلة التي يقرأها الحساس ومن ثم يقوم بتعديل صمام التدفق النسبي ليعمل علي مرور مقدار الكتلة المطلوبة. ويتم الإشارة لمعدل التدفق كنسبة للمقياس الكامل للجهاز التي تمت معايرته عليه ويتم قراءته من الضابط عن طريق إشارة يتم توصيلها للجهاز بالفولت. أجهزة الضبط لمعدل تدفق الكتلة تتعامل مع مائع سواء سائل أو غاز لكن خلال مدي معين من الضغط النوعي.والضغط المنخفض يؤثر علي المائع المار في الجهاز ويسب بفشل في القراءة وتحقيق نقطة الاستعداد للقراءة.بينما الضغط العالي للمائع يسبب عدم انتظام لمعدلات التدفق داخل الجهاز. (ar)
- Ein Massendurchflussregler (Mass flow controller, MFC) ist ein Gerät, mit dem ein Massenstrom auf einen Sollwert geregelt wird. Für jedes Fluid müssen eigene Kalibrierdaten geladen werden, was über eine Programmierschnittstelle geschieht. Neben einem Massendurchflussmesser (MFM) enthält ein MFC einen programmierbaren Regler und ein Proportionalventil. Gängige verwendete Messaufnehmer für diese Regler sind der kalorimetrische Durchflussmesser sowie der Coriolis-Massendurchflussmesser. (de)
- A mass flow controller (MFC) is a device used to measure and control the flow of liquids and gases. A mass flow controller is designed and calibrated to control a specific type of liquid or gas at a particular range of flow rates. The MFC can be given a setpoint from 0 to 100% of its full scale range but is typically operated in the 10 to 90% of full scale where the best accuracy is achieved. The device will then control the rate of flow to the given setpoint. MFCs can be either analog or digital. A digital flow controller is usually able to control more than one type of fluid whereas an analog controller is limited to the fluid for which it was calibrated. All mass flow controllers have an inlet port, an outlet port, a mass flow sensor and a proportional control valve. The MFC is fitted with a closed loop control system which is given an input signal by the operator (or an external circuit/computer) that it compares to the value from the mass flow sensor and adjusts the proportional valve accordingly to achieve the required flow. The flow rate is specified as a percentage of its calibrated full scale flow and is supplied to the MFC as a voltage signal. Mass flow controllers require the supply gas or liquid to be within a specific pressure range. Low pressure will starve the MFC of fluid and cause it to fail to achieve its setpoint. High pressure may cause erratic flow rates. There are many different technologies which can help to measure the flow of the fluids and eventually help in controlling flow. Those technologies define the types of Mass Flow Controllers, and they include differential pressure (ΔP), differential temperature (ΔT), Coriolis, Ultrasonic, electromagnetic, turbine, etc. (en)
- Un régulateur de débit massique (appelé mass flow controller en anglais et abrégé en MFC) est un appareil qui permet de mesurer et de réguler le débit de liquides ou de gaz. (fr)
- マスフローコントローラ（英: mass flow controller, MFC）とは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである。単に流量のセンシングだけを行って、制御を行わない場合は、マスフローメータ（mass flow meter）といい、区別することがある。 体積流量計では、ボイル＝シャルルの法則（気体の場合）や化学変化などのために、温度や気圧によって体積流量が変化してしまうことがあるが、その際でも質量は変化しないことから、質量流量計のほうが好まれることがある。 体積流量計や差圧流量計など質量流量計以外の原理の流量計に、流量調整機能を付けて、体積流量換算などによって質量流量計として用いた場合は、マスフローコントローラとは呼ばないのが一般である。 (ja)
- 질량 흐름 제어기(mass flow controller, MFC)는 기체의 흐름을 측정하고 제어하는 장치이다. 질량 흐름 제어기는 가스의 종류와 흐름 속도의 범위에 따라서 특별하게 설계되었고 보정되어 있다. 질량 흐름 제어기는 정해진 범위에서 설정값을 0%에서 100%까지 조절할 수 있지만 일반적으로 최고의 정확도에 접근하기 위해서 10%에서 90%범위만 사용한다. 질량 흐름 제어기는 설정값에 따라서 질량 흐름을 제어할 것이다. MFC는 아날로그 방식과 디지털 방식이 있지만, 디지털 흐름 제어기가 아나로그 흐름 제어기보다 일반적으로 정밀한 제어가 가능하다. 반면에, 디지털 제어기는 보정할 수 있는 가스가 제한되어 있다. 모든 질량 흐름 제어기는 흡입구, 배기구, 질량 흐름 센서가 있고 제어값에 비례한다. MFC는 운용자 (혹은 외부회로/컴퓨터)가 입력 신호를 인가할 수 있는 폐루프 제어 시스템이 탑재되어 있다. 이는 질량 흐름 센서값과 비례된 조정값을 비교하여 요구되는 흐름을 얻을 수 있다. 흐름률은 조정할 수 있는 전체 흐름 영역과 MFC에 인가되는 전압신호의 퍼센트로 정해져 있다. 질량 흐름 제어기는 특정 압력범위를 지니는 가스의 공급이 요구된다. 저압 가스는 MFC의 가스를 부족하게 하여 설정값을 얻는 데 실패하게 될 것이다. 고압 가스는 흐름률의 안정성을 떨어뜨릴 것이다. (ko)
|
| gold:hypernym
| |
| prov:wasDerivedFrom
| |
| page length (characters) of wiki page
| |
| foaf:isPrimaryTopicOf
| |
| is Link from a Wikipage to another Wikipage
of | |
| is Wikipage redirect
of | |
| is Wikipage disambiguates
of | |
| is foaf:primaryTopic
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)
