| rdfs:comment
| - ثلاثي فلوريد النتروجين هو مركب كيميائي من عنصري النتروجين والفلور، له الصيغة الكيميائية NF3، ويكون على شكل غاز عديم اللون. (ar)
- Trifluorur de nitrogen és el compost inorgànic amb la fórmula NF₃.Aquest compost de fluor i nitrogen és incolor, inodor i un gas no inflamable. Té un ús creixent en la microelectrònica. El fluorur de nitrogen és un gas amb efecte d'hivernacle extremadament potent. (ca)
- To τριφθοριούχο άζωτο ή τριφθοραμίνη (αγγλικά: nitrogen trifluoride) είναι ανόργανη χημική ένωση, που περιέχει άζωτο και φθόριο, με μοριακό τύπο NF3. Μπορεί να θεωρηθεί ότι παράγεται από την αμμωνία (NH3), αν όλα τα άτομα υδρογόνου της άτομα φθορίου. Ανήκει στις φθοραμίνες. Το χημικά καθαρό τριφθοριούχο άζωτο, στις συνθήκες αναφοράς, δηλαδή σε θερμοκρασία 25°C και υπό πίεση 1 atm, είναι άχρωμο, άοσμο και άφλεκτο αέριο. Βρίσκει αυξανόμενη εφαρμογή ως χαρακτικό μέσο για κατασκευή μικροηλεκτρονικών συσκευών. (el)
- Stickstofftrifluorid ist eine chemische Verbindung, die zur Gruppe der Stickstoffhalogenide gehört. Das Gas hat ein sehr hohes Treibhauspotential. (de)
- El trifluoruro de nitrógeno (también conocido como trifluoroamonio, perfluoroamonio) es un compuesto inorgánico con fórmula de NF3. Este compuesto de nitrógeno y flúor, es un gas incoloro, tóxico, inflamable e inodoro. Se usa, cada vez con mayor frecuencia, como un grabador en la microelectrónica; además de ser utilizado (a menudo como reemplazo de los perfluorocarbonos) en la fabricación de pantallas planas de cristal líquido. (es)
- Nitrogen trifluoride (NF3) is an inorganic, colorless, non-flammable, toxic gas with a slightly musty odor. It finds increasing use within the manufacturing of flat-panel displays, photovoltaics, LEDs and other microelectronics. Nitrogen trifluoride is also an extremely strong and long-lived greenhouse gas. Its atmospheric burden exceeded 2 parts per trillion during 2019 and has doubled every five years since the late 20th century. (en)
- Le trifluorure d'azote est un composé inorganique de formule brute NF3. Ce composé azote-fluor est un gaz incolore, toxique, inodore, non inflammable. Il est de plus en plus utilisé comme graveur chimique en micro-électronique. (fr)
- Nitrogen trifluorida adalah senyawa anorganik dengan rumus NF3. Senyawa nitrogen-fluor ini adalah gas tak berwarna, tak berbau, tidak mudah terbakar. Penggunaannya sebagai etchant dalam mikroelektronika ditemukan meningkat. (in)
- 三フッ化窒素（さんフッかちっそ）は化学式 NF3で表される無機化合物。この窒素-フッ素化合物は無色、有毒、無臭、不燃性、助燃性の気体である。半導体化学でエッチングガスとして使われるため、使用は増加傾向にある。 (ja)
- Il trifluoruro di azoto è un composto inorganico dell'azoto trivalente e del fluoro monovalente con formula NF3; è un gas incolore, non infiammabile, tossico con un odore leggermente di muffa. Trova un uso crescente nella produzione di display a schermo piatto, nei pannelli fotovoltaici, LED e altra microelettronica. Il trifluoruro di azoto è anche un gas serra estremamente forte e di lunga durata. Il suo carico atmosferico ha superato le 2 parti per trilione nel 2019 ed è raddoppiato ogni cinque anni dalla fine del XX secolo. (it)
- Kvävetrifluorid är en kemisk förening av kväve och fluor med formeln NF3. (sv)
- Trifluoreto de nitrogênio é o composto de fórmula química NF3. É cerca de dezessete mil vezes mais danoso que o dióxido de carbono, segundo a afirmação da Universidade da Califórnia, em Irvine. É usado na fabricação de televisores de cristal líquido. Apesar do risco, não foi considerado no Protocolo de Kyoto e sua concentração está aumentando na atmosfera 11% ao ano. (pt)
- Трифтори́д азо́та (фторид азота(III), трёхфтористый азот) — бинарное неорганическое соединение азота и фтора с формулой , бесцветный ядовитый тяжёлый газ, негорюч, вызывает коррозию металлов, имеет характерный затхлый запах плесени, плохо растворяется в воде. Вызывает сильный парниковый эффект. Применяется в качестве травителя в микроэлектронике. (ru)
- 三氟化氮（NF3）是卤化氮中最稳定的无机化合物，可在钙的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂，半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体，能加剧温室效应，因此有人认为应该限制这种化合物的使用。 三氟化氮在半導體及TFT-LCD製造的薄膜製程中扮演「清潔劑」的角色，不過這類清潔劑是氣態，而非液態。 在半導體中，薄膜製程的主要設備是「化學氣相沉積」（CVD）機台，會在晶圓片上長出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金屬材料，但這些材料不僅會附著在晶片上，也附著在反應室內的牆壁上，內牆上的二氧化矽累積至相當數量，就會在反應室內形成微塵粒子（Particle），影響晶圓片的良率。 因此每台CVD機台在處理過規定數量的晶圓片後，就要使用含氟的氣體清洗，以去除內壁上的矽化物質。不過NF3與CF4、C2F6等氣體都屬於多氟碳化物，是造成溫室效應的來源之一。半導體廠為了降低排氣對溫室效應的影響，在排放含氟廢氣前，會以高溫（攝氏700、800度才進行）將氣體由有機轉分解為無機，才不會破壞臭氧層。 (zh)
- Fluorid dusitý (NF3, fluorodusík neboli trifluoramin) je plyn lehčí než vzduch. Patří k méně známým skleníkovým plynům. Fluorid dusitý je nehořlavý plyn bez barvy a zápachu. Používá se mj. při výrobě plazmových obrazovek, solárních panelů a displejů z kapalných krystalů, také jako selektivní činidlo při leptání oxidu křemičitého. (cs)
- Nitrogena trifluorido aŭ NF3 estas neorganika kombinaĵo de fluoro kaj nitrogeno, amoniaka derivaĵo kie tri hidrogenatomoj estis anstataŭitaj de fluoroatomoj, netoksa, koroda, senkolora forceja gaso kun malagrabla ŝima odoro, kiu povas prepariĝi per rekta interagado de la puraj elementoj sub elektra malŝarĝo. (eo)
|
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)